溅射离子泵:高压电场加速电子电离气体,正离子被钛阴极捕获,钛受轰击溅射形成薄膜吸附残余气体,量程 10⁻³~10⁻¹¹Pa,无油洁净;
升华离子泵:加热钛源使其升华,钛膜主动吸附气体,配合电离捕集惰性气体,量程 10⁻⁵~10⁻¹²Pa,极限真空更高;
复合型离子泵:融合溅射与升华技术,兼顾抽速与极限真空,量程 10⁻⁴~10⁻¹²Pa,适配多气体成分场景。
真空设备配套:为涡轮分子泵、真空腔室后续抽气,保障系统极限真空;监测残余气体,判断真空系统是否漏气;
科研实验:为粒子加速器、核聚变装置构建 10⁻⁸Pa 以下超高真空,减少干扰;为 TEM/SEM、表面物理实验提供洁净真空,提升精度;
工业生产:半导体光刻、离子注入中维持洁净真空,避免杂质影响芯片制程;光学镀膜(激光镜片、航天元件)中保障膜层质量;
航天军工:模拟太空 10⁻¹⁰Pa 以下真空,测试航天器部件;为红外探测器、精密传感器提供真空封装,确保稳定性。