放大图片 真空排气台 设备 2025年-07月-28 04:49:10 产品概述主要采用无油超高真空系统，用于实现红外杜瓦内真空排气处理。产品参数技术参数类型中测排气、超高真空排气（器件）工位4-16工位可定制限真空度（空载）中测优于5×10-7mbar超高真空优于7×10-10mbar其他参数供电电源380V/220V可选其他超高真空排气设备选配计算机控制、激活电源探测器组件内部二极管、测量用精密恒流源
