真空计

一、工作原理（按类型分）

1. 热传导式：利用气体热传导率随压力变化，通过检测加热元件（如钨丝）的电阻 / 温度变化反推真空度，量程 10⁵~10⁻¹Pa，结构简单；
2. 电离式：灯丝发射电子电离气体，离子流强度与压力成正比，量程 10⁻¹~10⁻¹¹Pa，精度高，需先抽低真空；
3. 电容式薄膜：压力差使金属膜片形变，导致电容变化，量程 10⁵~10⁻⁴Pa，耐污染、无灯丝，适配腐蚀性气体；
4. 冷阴极式：高压电场电离气体，无灯丝损耗，量程 10⁻²~10⁻⁹Pa，抗冲击，适合恶劣环境。

二、核心应用场景

1. 真空设备配套：监测真空泵组（分子泵、干泵）压力，判断是否达标 / 漏气；保障镀膜机、刻蚀机腔室真空稳定；
2. 科研实验：为加速器、核聚变装置测超高真空，为 SEM/TEM 等仪器提供低干扰真空环境，提升实验精度；
3. 工业生产：半导体工艺（离子注入、晶圆清洗）控洁净真空，医药冻干设备保真空度防药品破坏；
4. 计量校准：高精度真空计作标准，校准低精度设备，确保测量合规。

真空计类目：