一、工作原理（按类型分）

1. 热传导式：靠气体热传导率随压力变化，检测加热金属丝电阻反推压力，量程 10⁵~10⁻¹Pa，简单低成本，需校准；
2. 电离式：电子撞击气体电离产生离子流，离子流强度关联压力，量程 10⁻¹~10⁻¹¹Pa，精度高，需先抽低真空；
3. 电容式薄膜：压力差使薄金属膜形变，导致电容变化，量程 10⁵~10⁻⁴Pa，耐污染、无灯丝，适配腐蚀性气体；
4. 冷阴极电离式：高压电场电离气体，无灯丝损耗，量程 10⁻²~10⁻⁹Pa，耐冲击，适合恶劣环境。

二、应用场景

1. 真空设备：配套真空泵组监测压力（判状态、查漏气），镀膜机 / 刻蚀机确认真空达标；
2. 科研实验：加速器、核聚变装置测超高真空，SEM/TEM 保障成像分辨率；
3. 工业生产：半导体工艺监测洁净真空，医药冻干设备控真空度防药品破坏；
4. 计量校准：高精度规管作标准，校准低精度规管。

真空规管类目：

1. 粗真空规

   

2. 高真空规

   

3. 宽量程真空规

   

4. 薄膜真空规