真空阀

一、工作原理（按类型分）

1. 截止阀（挡板阀）：挡板（阀芯）与阀座贴合 / 脱离控通断，适配 10⁵~10⁻¹¹Pa，密封性强，用于腔室与泵组通断；
2. 蝶阀：蝶板旋转 0° 开、90° 关，适配 10⁵~10⁻³Pa，阻力小、开关快，适合大口径气路（如干燥炉）；
3. 止回阀（单向阀）：气体压力差驱动阀芯单向导通，防反向回流，适配 10⁵~10⁻²Pa，用于前级泵出口；
4. 微调阀：针形阀芯调间隙控流量，适配 10⁵~10⁻⁸Pa，精度高，用于检漏仪、真空规气路。

二、应用场景

1. 真空设备：泵组间装截止阀联动控压；腔室检修时关阀隔离真空；
2. 工业生产：半导体工艺用微调阀控气体流量；真空冶金用蝶阀切换抽真空 / 惰性气体回填；
3. 科研实验：超高真空系统（加速器、TEM）用金属密封截止阀保密封；检漏仪用微调阀定漏点；
4. 民生 / 特种：真空包装机用截止阀控抽气密封；航天模拟器用截止阀隔离梯度真空舱。

真空阀类目：

1. 全金属 UHV 阀

   

2. 铝质阀

   

3. 铝插板阀

   

4. 电磁挡板阀

   

5. 不锈钢插板阀

   

6. 微调放气阀