涡旋式干泵

一、工作原理

1. 吸气：动涡旋盘旋转使外围腔室负压，吸入气体；
2. 压缩：腔室向中心移动并缩小体积，压缩气体；
3. 排气：腔室到中心排气口，排出压缩气体。
   全程无摩擦、无润滑油，间隙仅数十微米，实现无油洁净抽气，噪音≤65dB。

二、应用场景

1. 半导体 / 微电子：适配刻蚀、薄膜沉积等工艺，提供 10⁻³Pa 洁净真空，避免晶圆污染，保障芯片精度；
2. 医药 / 食品：用于药品冻干、食品真空包装，符合 GMP/FDA 标准，杜绝油污染，保护热敏物料活性；
3. 材料 / 镀膜：助力光学镀膜、锂电池材料干燥，减少镀膜缺陷，保障电极导电性；
4. 分析仪器 / 科研：为质谱仪、表面物理实验提供低干扰真空，提升检测精度与数据重复性；
5. 工业辅助：用于真空吸附搬运、塑料脱气，避免吸附件油污，降低制品气泡率。

涡旋式干泵类目：

1. IDP 涡旋泵

   

2. 涡旋泵省心套装

   

3. TriScroll 泵

   

4. 涡旋泵附件