放大图片 双温区退火炉 - 半导体行业 设备 2025年-07月-29 02:19:58 产品概述主要用于半导体行业中芯片转型退火、扩散等.产品参数主要技术指标最高使用温度≤500℃恒温区高温区长度≥200mm, 温度均匀性±0.5℃ 低温区长度≥150mm, 温度均匀性±0.5℃设备尺寸设备尺寸L1800×W600×H1600mm其他参数供电电源三相五线 380V±5%;50~60Hz
