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扩散泵

一、工作原理

以高温油(如扩散泵油)为工作介质,通过加热使油汽化产生高速油蒸气射流(速度超 200m/s);油蒸气射流具有动量传递作用,将泵腔内待抽气体分子 “裹挟” 至泵壁;
  1. 气体分子与油蒸气碰撞后,随油蒸气向排气口方向运动;
  2. 油蒸气接触低温泵壁后冷凝回流,重新加热循环;
  3. 被输送的气体由前级泵(如旋片泵)抽走,实现中高真空获取,量程10⁻¹~10⁻⁷Pa,需搭配前级泵使用,且需控温防油过热分解。

二、核心应用场景

  • 真空设备过渡抽气:作为旋片泵(低真空)与离子泵(超高真空)的 “中间泵”,将系统压力从 10⁻¹Pa 降至 10⁻⁶Pa,为超高真空设备启动铺路;
  • 工业镀膜:大型光学镀膜机(如眼镜片、汽车玻璃镀膜)、磁控溅射镀膜生产线,维持腔室中高真空,避免膜层杂质;
  • 金属加工:真空钎焊(如航空零部件焊接)、真空熔炼(特种合金制备),抽除炉内气体,防止金属氧化;
  • 科研与检测:电子束焊机、真空光谱仪等设备,提供中高真空环境,保障光束稳定性与检测精度。

 

扩散泵类目:

  1. 小型扩散泵

  2. 大型扩散泵

全控多年专注非标设备研发、生产

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