放大图片 单温区退火炉 - 半导体行业 设备 2025年-07月-29 02:26:54 产品概述主要用于半导体行业中芯片转型退火、扩散等.产品参数主要技术指标最高使用温度≤800℃恒温区长度≥400mm, 温度均匀性±1.5℃控温精度±0.1℃腔室φ100mm、φ120mm、φ150mm可选可定制功能自动退火功能，记录工艺参数，多种工艺参数存储调用设备尺寸设备尺寸L1800×W600×H1600mm其他参数供电电源三相五线 380V±5%,50~60Hz设备重量200Kg
