放大图片 器件排气设备、材料排气封装设备 红外半导体设备 2025年-03月-07 10:33:41 器件排气设备主要采用无油超高真空系统,用于实现红外杜瓦内真空排气处理。材料排气封装设备用于高纯材料排气封装。