真空产品

真空阀

ynqkjdcom — Thu, 21 Aug 2025 02:33:15 +0000

真空阀 ynqkjdcom Thu, 08/21/2025 - 04:33

一、工作原理（按类型分）

截止阀（挡板阀）：挡板（阀芯）与阀座贴合 / 脱离控通断，适配 10⁵~10⁻¹¹Pa，密封性强，用于腔室与泵组通断；
蝶阀：蝶板旋转 0° 开、90° 关，适配 10⁵~10⁻³Pa，阻力小、开关快，适合大口径气路（如干燥炉）；
止回阀（单向阀）：气体压力差驱动阀芯单向导通，防反向回流，适配 10⁵~10⁻²Pa，用于前级泵出口；
微调阀：针形阀芯调间隙控流量，适配 10⁵~10⁻⁸Pa，精度高，用于检漏仪、真空规气路。

二、应用场景

真空设备：泵组间装截止阀联动控压；腔室检修时关阀隔离真空；
工业生产：半导体工艺用微调阀控气体流量；真空冶金用蝶阀切换抽真空 / 惰性气体回填；
科研实验：超高真空系统（加速器、TEM）用金属密封截止阀保密封；检漏仪用微调阀定漏点；
民生 / 特种：真空包装机用截止阀控抽气密封；航天模拟器用截止阀隔离梯度真空舱。

真空阀类目：

全金属 UHV 阀
铝质阀
铝插板阀
电磁挡板阀
不锈钢插板阀
微调放气阀

真空产品

扩散泵

ynqkjdcom — Thu, 21 Aug 2025 02:18:41 +0000

扩散泵 ynqkjdcom Thu, 08/21/2025 - 04:18

一、工作原理

以高温油（如扩散泵油）为工作介质，通过加热使油汽化产生高速油蒸气射流（速度超 200m/s）；油蒸气射流具有动量传递作用，将泵腔内待抽气体分子 “裹挟” 至泵壁；

气体分子与油蒸气碰撞后，随油蒸气向排气口方向运动；
油蒸气接触低温泵壁后冷凝回流，重新加热循环；
被输送的气体由前级泵（如旋片泵）抽走，实现中高真空获取，量程10⁻¹~10⁻⁷Pa，需搭配前级泵使用，且需控温防油过热分解。

二、核心应用场景

真空设备过渡抽气：作为旋片泵（低真空）与离子泵（超高真空）的 “中间泵”，将系统压力从 10⁻¹Pa 降至 10⁻⁶Pa，为超高真空设备启动铺路；
工业镀膜：大型光学镀膜机（如眼镜片、汽车玻璃镀膜）、磁控溅射镀膜生产线，维持腔室中高真空，避免膜层杂质；
金属加工：真空钎焊（如航空零部件焊接）、真空熔炼（特种合金制备），抽除炉内气体，防止金属氧化；
科研与检测：电子束焊机、真空光谱仪等设备，提供中高真空环境，保障光束稳定性与检测精度。

扩散泵类目：

小型扩散泵
大型扩散泵

真空产品

旋片泵

ynqkjdcom — Thu, 21 Aug 2025 02:10:22 +0000

旋片泵 ynqkjdcom Thu, 08/21/2025 - 04:10

一、工作原理

泵腔内偏心安装转子，转子槽内嵌入 2-3 片可滑动旋片（靠弹簧或离心力紧贴泵腔内壁）；转子旋转时，旋片将泵腔分隔为多个可变容积腔室：

进气侧腔室容积增大，吸入待抽气体；
气体随转子转动被带入排气侧，腔室容积缩小，气体被压缩；
当气体压力高于大气压时，推开排气阀排出，循环实现抽气，量程10⁵~10⁻²Pa，部分型号可通过气镇阀减少水蒸气凝结。

二、核心应用场景

真空设备前置抽气：作为分子泵、离子泵等超高真空设备的 “前级泵”，先将系统压力降至 10⁻¹Pa 以下，为后级泵启动创造条件；
工业生产：真空干燥（如塑料、电子元件脱水）、真空包装（食品、医疗器械防潮）、小型镀膜机（装饰镀膜、刀具镀膜）腔室抽低真空；
科研与实验：实验室小型真空系统（如真空手套箱、简易真空罐）、教学实验用真空装置，提供基础低真空环境；
日常与民生：冰箱冰柜维修时抽真空（排除管路空气）、小型真空吸盘设备（自动化生产线轻型物料搬运）。

旋片泵类目：

实验室单级 (MS) 旋片泵
工业用单级 (MS) 旋片泵

真空产品

离子泵

ynqkjdcom — Thu, 21 Aug 2025 01:42:17 +0000

离子泵 ynqkjdcom Thu, 08/21/2025 - 03:42

一、工作原理（按类型分）

溅射离子泵：高压电场加速电子电离气体，正离子被钛阴极捕获，钛受轰击溅射形成薄膜吸附残余气体，量程 10⁻³~10⁻¹¹Pa，无油洁净；
升华离子泵：加热钛源使其升华，钛膜主动吸附气体，配合电离捕集惰性气体，量程 10⁻⁵~10⁻¹²Pa，极限真空更高；
复合型离子泵：融合溅射与升华技术，兼顾抽速与极限真空，量程 10⁻⁴~10⁻¹²Pa，适配多气体成分场景。

二、核心应用场景

真空设备配套：为涡轮分子泵、真空腔室后续抽气，保障系统极限真空；监测残余气体，判断真空系统是否漏气；
科研实验：为粒子加速器、核聚变装置构建 10⁻⁸Pa 以下超高真空，减少干扰；为 TEM/SEM、表面物理实验提供洁净真空，提升精度；
工业生产：半导体光刻、离子注入中维持洁净真空，避免杂质影响芯片制程；光学镀膜（激光镜片、航天元件）中保障膜层质量；
航天军工：模拟太空 10⁻¹⁰Pa 以下真空，测试航天器部件；为红外探测器、精密传感器提供真空封装，确保稳定性。

离子泵类目：

小型离子泵
中型离子泵
大型离子泵
复合离子泵
非蒸散型吸气剂复合离子泵

真空产品

真空计

ynqkjdcom — Thu, 21 Aug 2025 01:31:00 +0000

真空计 ynqkjdcom Thu, 08/21/2025 - 03:31

一、工作原理（按类型分）

热传导式：利用气体热传导率随压力变化，通过检测加热元件（如钨丝）的电阻 / 温度变化反推真空度，量程 10⁵~10⁻¹Pa，结构简单；
电离式：灯丝发射电子电离气体，离子流强度与压力成正比，量程 10⁻¹~10⁻¹¹Pa，精度高，需先抽低真空；
电容式薄膜：压力差使金属膜片形变，导致电容变化，量程 10⁵~10⁻⁴Pa，耐污染、无灯丝，适配腐蚀性气体；
冷阴极式：高压电场电离气体，无灯丝损耗，量程 10⁻²~10⁻⁹Pa，抗冲击，适合恶劣环境。

二、核心应用场景

真空设备配套：监测真空泵组（分子泵、干泵）压力，判断是否达标 / 漏气；保障镀膜机、刻蚀机腔室真空稳定；
科研实验：为加速器、核聚变装置测超高真空，为 SEM/TEM 等仪器提供低干扰真空环境，提升实验精度；
工业生产：半导体工艺（离子注入、晶圆清洗）控洁净真空，医药冻干设备保真空度防药品破坏；
计量校准：高精度真空计作标准，校准低精度设备，确保测量合规。

真空计类目：

真空产品

真空规管

ynqkjdcom — Thu, 21 Aug 2025 01:06:17 +0000

真空规管 ynqkjdcom Thu, 08/21/2025 - 03:06

一、工作原理（按类型分）

热传导式：靠气体热传导率随压力变化，检测加热金属丝电阻反推压力，量程 10⁵~10⁻¹Pa，简单低成本，需校准；
电离式：电子撞击气体电离产生离子流，离子流强度关联压力，量程 10⁻¹~10⁻¹¹Pa，精度高，需先抽低真空；
电容式薄膜：压力差使薄金属膜形变，导致电容变化，量程 10⁵~10⁻⁴Pa，耐污染、无灯丝，适配腐蚀性气体；
冷阴极电离式：高压电场电离气体，无灯丝损耗，量程 10⁻²~10⁻⁹Pa，耐冲击，适合恶劣环境。

二、应用场景

真空设备：配套真空泵组监测压力（判状态、查漏气），镀膜机 / 刻蚀机确认真空达标；
科研实验：加速器、核聚变装置测超高真空，SEM/TEM 保障成像分辨率；
工业生产：半导体工艺监测洁净真空，医药冻干设备控真空度防药品破坏；
计量校准：高精度规管作标准，校准低精度规管。

真空规管类目：

粗真空规
高真空规
宽量程真空规
薄膜真空规

真空产品

涡旋式干泵

ynqkjdcom — Thu, 21 Aug 2025 00:44:00 +0000

涡旋式干泵 ynqkjdcom Thu, 08/21/2025 - 02:44

一、工作原理

核心为涡旋啮合压缩：由静涡旋盘（固定，外圈进气）与动涡旋盘（偏心旋转，无自转）组成，二者啮合形成封闭 “月牙形腔室”。过程分三步：

吸气：动涡旋盘旋转使外围腔室负压，吸入气体；
压缩：腔室向中心移动并缩小体积，压缩气体；
排气：腔室到中心排气口，排出压缩气体。
全程无摩擦、无润滑油，间隙仅数十微米，实现无油洁净抽气，噪音≤65dB。

二、应用场景

半导体 / 微电子：适配刻蚀、薄膜沉积等工艺，提供 10⁻³Pa 洁净真空，避免晶圆污染，保障芯片精度；
医药 / 食品：用于药品冻干、食品真空包装，符合 GMP/FDA 标准，杜绝油污染，保护热敏物料活性；
材料 / 镀膜：助力光学镀膜、锂电池材料干燥，减少镀膜缺陷，保障电极导电性；
分析仪器 / 科研：为质谱仪、表面物理实验提供低干扰真空，提升检测精度与数据重复性；
工业辅助：用于真空吸附搬运、塑料脱气，避免吸附件油污，降低制品气泡率。

涡旋式干泵类目：

IDP 涡旋泵
涡旋泵省心套装
TriScroll 泵
涡旋泵附件

真空产品

涡轮分子泵

ynqkjdcom — Wed, 20 Aug 2025 08:28:33 +0000

涡轮分子泵 ynqkjdcom Wed, 08/20/2025 - 10:28

一、工作原理

以动能传递为核心，通过高速旋转的动叶轮（最高转速 90,000 转 / 分，外缘线速度 150-400 米 / 秒），将动能传递给气体分子，使其从无序热运动转为定向流动；配合交替排列的静叶轮（间隙仅 1 毫米），实现气体从进气口向排气口输送。需与前级真空泵（工作压力 1-10⁻²Pa）协同，在分子流状态下发挥高真空获取能力。

二、应用场景

半导体制造：保障光刻、离子注入等工艺的高真空环境，避免杂质污染，确保芯片精度与性能；
科学研究：为加速器、电子显微镜等提供 10⁻⁸Pa 以下超高真空，降低实验干扰；
真空镀膜：维持稳定真空，减少薄膜缺陷，提升光学、耐磨性能；
本公司除气炉设备：
- 应用于不锈钢精密工件（如航空连接件）除气，将炉内真空度稳定在 10⁻⁶Pa 以下，去除 H₂、O₂等残留气体，使材料气体残留量≤5ppm；
- 相比传统系统，设备洁净度提升 10 倍、除气效率提高 30%，工件良品率从 92% 升至 99.5%，获高端制造客户复购。

涡轮分子泵类目：

控制器涡轮分子泵
真空涡轮分子泵
一体化涡轮分子泵系统
模块化涡轮分子泵系统

真空产品