1、真空设备--产生、改善或维持真空的装置。包括各种获得粗、低、中、高及超高的真空泵和真空机组。

​A、机械真空泵：旋片泵、往复泵、滑阀泵、罗茨泵、分子泵和液环泵等。

B、蒸汽流真空泵：水蒸汽喷射泵、油增压泵和油扩散泵等。

C、气体捕集真空泵：钛溅射离子泵、低温泵、分子筛吸附泵和锆铝吸气泵等。

D、真空机组：即由产生真空、测量真空和控制真空等组件组成的各类机组。

2、真空应用设备～在真空环境下(低于一个大气压的气体状态)，应用的各种设备。

A、真空镀膜机：蒸发镀膜机、磁控溅射镀膜机、离子镀膜机和等离子化学沉积装置等。

B、真空冶炼炉：电阻炉、电子束炉、电弧炉、感应炉和单晶炉等。

C、真空热处理炉：淬火炉、回火炉、退火炉、渗碳炉、渗氮炉和渗金属炉等。

D、其它真空设备：冷冻干燥设备、蒸馏设备、提纯设备、浸渍设备、果蔬保鲜设备、运输设备、空间模拟设备、包装机和钢水脱气装置等。

3、真空测量仪器一测量低于一个大气压的气体和蒸汽压力的仪器。

A、低真空计(测量范围105---102Pa)。

B、中真空计(测量范围l02一l0-1Pa)。

C、高真空计(测量范围l0-1一10-5Pa)。

D、超高真空计(测量范围< 10-5Pa)。

4、真空检漏仪一检测真空系统或元件漏孔的位置或漏率的仪器。包括高频火花检漏仪、卤素检漏仪和氦质谱检漏仪等。

5、真空阀门一在真空系统中，用于调节流量、切断或接通管路的元件。包括插板阀、挡板阀、电磁阀、电磁带放气阀、隔膜阀和调节阀等.