真空设备专业生产厂家不乏检测仪表和专业技术人员，并有相当丰富的维修经验，因此，真空设备的检测和维修应该是没有问题的。而作为用户，除非技术力量雄厚，但许多用户一般不具备或不完全具备条件来进行真空设备的维修。
维修真空设备的要点是判断故障。真空抽不上去，原因可能有几个，一定要搞清楚是什么原因，是真空机组的抽气能力不够还是漏率高；或者两者兼而有之。这时，应该耐心观察和记录，从中找出故障。比如，抽空时间相同，而真空度偏低，这时候，关闭高压阀，如真空计指针很快下降，多数情况是真空室漏了，这时候应先查出漏点。如真空计指针下降很慢，多数情况是真空机组抽气能力不够，这时可将重点放到查找真空泵及阀门的问题上，看是哪里出现了泄漏，或是扩散泵油被污染了，氧化了等；或是前级管路密封不好，泵油不足；或是泵有油乳化，轴封漏油，阀片损坏等故障。
找出故障点就可以因地制宜地进行处理了，简单的办法是换件，小到胶圈、螺栓，大到阀门、真空泵，只要手头上有的都可以换；对于需要焊接的部位应按要求来进行，焊接后还需确认达到了要求。
